Si単結晶はフッ酸で溶かすことはできないので、フッ酸+硝酸+酢酸を混ぜてSi→SiO2に変えてHFで溶かす、みたいなことをやる https://xtech.nikkei.com/dm/article/WORD/20090420/169044/
Si単結晶はフッ酸で溶かすことはできないので、フッ酸+硝酸+酢酸を混ぜてSi→SiO2に変えてHFで溶かす、みたいなことをやる https://xtech.nikkei.com/dm/article/WORD/20090420/169044/
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