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    kuriuzu (kuriuzu@mstdn.maud.io)'s status on Friday, 14-Jul-2023 02:50:40 JSTkuriuzukuriuzu
    in reply to

    Si単結晶はフッ酸で溶かすことはできないので、フッ酸+硝酸+酢酸を混ぜてSi→SiO2に変えてHFで溶かす、みたいなことをやる https://xtech.nikkei.com/dm/article/WORD/20090420/169044/

    In conversationFriday, 14-Jul-2023 02:50:40 JST from gnusocial.jppermalink

    Attachments

    1. Domain not in remote thumbnail source whitelist: xtech.nikkei.com
      等方性ウエット・エッチング
      from 日経クロステック（xTECH）
      フッ硝酸を酢酸で希釈したエッチング液を使うと，Siの等方性エッチングができる。
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